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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP
Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D
「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析
Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
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【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
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【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン
カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
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『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…
カソードには窒素と金属がドープされたグラフェンを使用することで、多硫化リチウム中間体に対する金属部分への吸着エネルギーを解析しています ◎計算モデル 『Materials Studio』量子力学計算でのDMol3モジュールを使用 ・構造のエネルギー計算を行うことで吸着エネルギーを求めました ・複数のポリスルフィドやグラフェン上の金属原子のパターンに対して同様の計算を行い比較することで、...
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【事例】LST/QSTを使用した遷移状態探索をご案内します
◇LST/QSTを使用した遷移状態探索 事例紹介 ・化学反応のポテンシャルエネルギー面を探索するには、反応プロセスの各ステップに対する構造的エネルギー的運動的などの情報が必要です。 ・それらの情報の中で、特に遷移状態を見つけることは重要となっております。 ・本事例ではMaterials Studioにて、遷移状態探索の手法としてよく知られているLSTとQSTを使用することで解析をしており...
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【事例】MaterialsStudio電解液の還元とSEI膜形成
『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…
◇電解液の還元とSEI膜の形成事例紹介 ・SEI膜とは、電解液の分解物が電極表面で形成した膜を指します ・これは電極液の過剰分解を防ぐ、電極に取り込むイオンの調整などの役目を持ち、一方、SEI膜の増加は電気抵抗の増加などの、電池性能低下につながります ◆事例詳細 ・Li / Li2CO3 / EC モデルを作成 ・電極へのイオン過剰供給を防ぐ役目があるSEI膜の部分のエネルギー障壁...
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『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…
ホーリーグラファイト内におけるイオンの拡散エネルギーをプロファイルすることで、 ホーリー構造の効果に対しての議論をMaterials Studioを用いて行っております ◇グラファイトアノードへの改善処理に伴う効果を確認できます 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス(MI)」にも最適 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト ■より効率よく、より簡単に、新規...
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【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます ・流体モデルでの計算が難...
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【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…
基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく...
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【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ
「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置
長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
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【事例】Materials Studio 半導体デバイス Y添加剤Z…
◇Materials Studio 半導体デバイス Y添加剤ZnO単一層の特性 事例紹介 ・半導体ベースの技術として、トランジスタやダイオードなどの半導体素子に加えて、光触媒への用途も注目されています。 ・半導体ベース光触媒にて 「Materials Studio」を活用した事例を紹介いたします。 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 ■材料開発を効率化するシ...
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