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電磁場解析ソフト 【μ-MRI 磁気シールドルーム設計ソフト】
「μ-MRI」磁気シールドルーム設計ソフトは、ワンボタンで、メッシュ分…
５GAUSSラインがルームから漏れないか確認のためのシミュレーションを、ご自分でやりませんか？解析に不慣れな施工設計担当の方にも、手軽に操作できるソフトに仕上げています。間取りとシールド枚数を設定し、実行ボタンを押すだけで、５GAUSSラインの図面が出力できます。繰り返し計算する事で、最適なシールド配置・最少の枚数を検討出来ます 詳細は【解析ノウハウ.com】の「062 μ-MRIの紹介」をご覧...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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磁場解析ソフト 【μ-MRI 磁気シールドルーム設計ソフト】
「μ-MRI」磁気シールドルーム設計ソフトは、ワンボタンで、メッシュ分…
５GAUSSラインがルームから漏れないか確認のためのシミュレーションを、ご自分でやりませんか？解析に不慣れな施工設計担当の方にも、手軽に操作できるソフトに仕上げています。間取りとシールド枚数を設定し、実行ボタンを押すだけで、５GAUSSラインの図面が出力できます。繰り返し計算する事で、最適なシールド配置・最少の枚数を検討出来ます 詳細は【解析ノウハウ.com】の「062 μ-MRIの紹介」をご覧...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の初期位置、初期速度、担当電流量の入力機能 ・Ｅｘｃｅｌからの条件設定ｃｓｖファイル読込機能 ・計算範囲の指定と、自動計算...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の初期位置、初期速度、担当電流量の入力機能 ・Ｅｘｃｅｌからの条件設定ｃｓｖファイル読込機能 ・計算範囲の指定と、自動計算...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の初期位置、初期速度、担当電流量の入力機能 ・Ｅｘｃｅｌからの条件設定ｃｓｖファイル読込機能 ・計算範囲の指定と、自動計算...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の初期位置、初期速度、担当電流量の入力機能 ・Ｅｘｃｅｌからの条件設定ｃｓｖファイル読込機能 ・計算範囲の指定と、自動計算...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の初期位置、初期速度、担当電流量の入力機能 ・Ｅｘｃｅｌからの条件設定ｃｓｖファイル読込機能 ・計算範囲の指定と、自動計算...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析
Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理
Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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ワンボタンで、メッシュ分割から計算実行！本当は複雑な解析が、どなたでも…
５GAUSSラインがルームから漏れないか確認のためのシミュレーションを、ご自分でやりませんか？解析に不慣れな施工設計担当の方にも、手軽に操作できるソフトに仕上げています。間取りとシールド枚数を設定し、実行ボタンを押すだけで、５GAUSSラインの図面が出力できます。繰り返し計算する事で、最適なシールド配置・最少の枚数を検討出来ます 詳細は【解析ノウハウ.com】の「062 μ-MRIの紹介」をご覧...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…
長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ
「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン
Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析
Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…
CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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