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【解析事例】MEMS静電アクチュエータの電界解析(静電気力)
解析結果として得られた静電気力のオーダーが妥当かどうか考察!電界解析を…
櫛歯型静電アクチュエータの電界解析の事例をご紹介致します。 静電アクチュエータは対向する電極に存在する電荷の符号で静電気力が 生じますので、電界解析を適用。 「PHOTO-VOLT」では、電位分布、電界...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フォトン
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