株式会社東北テクノアーチ 東北大学技術：多用途MEMSジャイロセンサ：T15-153他
- 最終更新日：2023-09-05 10:03:14.0
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新構造により、高精度・多用途を実現
本発明は、ジャイロセンサのうち、FMジャイロセンサに関する。
従来のFMジャイロセンサは、温度変化や部材の製造誤差によって、測定精度が下がるという課題があった。これは、センサに用いる振動子を２つ用いるために、それら振動子間に生じる温度変化の差や、製造誤差によって、振動子の特性を同一に保てないことに起因していた。
これに対して本発明では、振動子を単一とし、異なるモードの振動を印加しすることで、上記の課題を解決する。
本発明を用いるジャイロセンサは、上記の通り測定精度が高いのみなら
ず、原理上、磁気センサや圧力センサとしても機能することができ、産業上の優位性をもつと考えれらる。
上記ジャイロセンサ、磁気センサ、圧力センサ各種で特許取得・出願している。
基本情報東北大学技術：多用途MEMSジャイロセンサ：T15-153他
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取扱企業東北大学技術：多用途MEMSジャイロセンサ：T15-153他
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