アルゴン回収率が70～80％と高率！連鋳設備排ガスからのアルゴン回収などに好適
『Ar-PSA』は、高純度アルゴン（max. 99.999％）の回収が可能な
PSAアルゴンガス発生装置です。
RH 真空脱ガス炉・シリコン単結晶引上げ装置等から排出される
アルゴンリッチガスを高純度のアルゴンガスに精製分離することが可能。
吸着剤ゼオライトでは、窒素、一酸化炭素、炭酸ガスに比べ、アルゴンの
吸着量は小さく分離ができるため、ガス等を含むアルゴン混合ガスから
高純度アルゴンの回収精製が行われます。
【特長】
■高純度アルゴン（max. 99.999％）の回収が可能
■アルゴン回収率が70 ?80％と高率
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報PSAアルゴンガス発生装置『Ar-PSA』
【仕様】
■能力：max. 1,000m3/h（nor.） 1系列当り
■純度：max. 99.999％
■圧力：0.49 ～0.69MPaG
■水分：露点 -70℃ at 1atm
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■鉄鋼業 ・RH 真空脱ガスからのアルゴン回収 ・連鋳設備排ガスからのアルゴン回収 ・LF 炉排ガスからのアルゴン回収 ■半導体 ・シリコン単結晶排ガスからのアルゴン回収 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログPSAアルゴンガス発生装置『Ar-PSA』
取扱企業PSAアルゴンガス発生装置『Ar-PSA』
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