東海光学株式会社 【課題解決事例】汚れが付着しても高反射を維持するプリズムをご提案

光学部品にもナノレベルの精度を!表面状態の影響を受けずに高い反射率を実現!

取引先の半導体メーカー様から、集積回路製造装置のセンサーに使われる
プリズムのサンプル解析を依頼されました。当社で任意に油脂(汚れ)を
付着させて解析を行なったところ、汚れにより、全反射条件が崩れ、光量が
損失することが判明しました。

万が一、汚れが付着すれば、検知精度が下がって工程不良を引き起こす要因と
なりうるため、早急な改善が急務でした。

そこで当社は、万が一、汚れが付着しても高反射を維持する高反射ミラーを
付与したプリズム「誘導体多層膜ミラー付きプリズム」をご提案。

半導体メーカー様から高い評価をいただき、すぐに採用となりました。

【事例概要】
■課題:反射面の汚れが影響し、反射率の低下を引き起こす
■ソリューション:汚れが付着しても高い反射率をキープし、
 精密な半導体製造の品質保持に貢献
■ご紹介製品:プリズム

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東海光学株式会社

・眼鏡レンズ専門メーカー ※日本国内におけるシェアは16%です。 ・愛知県岡崎市花園工業団地にハイテクノロジーを駆使した工場とともにあり、国内をはじめ東南アジア、ヨーロッパ、北米の方々に弊社のレンズをご使用いただいております。 ※平成12年10月品質保証の国際規格「ISO9001」及び環境関連規格「ISO14001」を認証取得しました。

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