ソフトワークス株式会社 スクラッチ装置
- 最終更新日：2020-10-14 10:18:24.0
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高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全自動で行います
『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な
スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。
ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの
厚みに依存しません。
画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、
全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、
GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。
【特長】
■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う
■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備
■ウエハーサイズは4インチが基本、装置カスタマイズにより
12インチ迄、選択可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報スクラッチ装置
【仕様】
■カメラ移動 XY軸ステージ：ストローク X 230mm、Y 306mm
■カメラ焦点 自動Z軸ステージ：ストローク 39mm
■検査用200万画素モノクロ（1620×1236 画素）
■オリフラアライメント用カメラ（2592×1944 画素）
■CCTV レンズ：f=10mm、可視カットフィルタ付き
■LEDリング照明：内径27mm、発光波長850nm
■微分干渉顕微鏡筒：対物レンズ5x、光学調整のロック機構付き
■画像処理用パソコン：DELL Optiplex
■AF用レーザー変位計：物理的に接触しないようメカストップ機構有り
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログスクラッチ装置
取扱企業スクラッチ装置
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【業務内容】 ■コンピュータソフトウェアの開発および販売
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