【比較画像あり】内部の形状異常も非破壊観察可能!X線CTと断面SEMを比較しました
インダクタコイルの観察(直交CT観察+断面観察)事例をご紹介します。
動作不良が発⽣したインダクタコイルの中をX線CTで観察。
螺旋状に形成された配線の所々に異常形状が発⽣している様⼦が
確認されました。
X線CT観察では、3次元的に観察できるため、異常個所の状態がよく分かります。
また、異常個所を含む断⾯を機械研磨によって作製し、SEMによる観察を
実施しました。
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基本情報X線透視・CT検査装置『インダクタコイルの観察事例』
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カタログX線透視・CT検査装置『インダクタコイルの観察事例』
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