株式会社アイテス微小異物分析のためのサンプリング技術

エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物について、各種サンプリング技術を駆使して迅速な分析結果をご報告します。

■多層膜中異物の特殊サンプリング技術

・基板上金属膜に埋もれた異物
　金属膜エッチング⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析

・多層薄膜中の異物
　表面層の切り取り⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析
　ミクロトーム/FIB　薄片化⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析

■さらに強化されたマイクロサンプリングツール
　新規導入されたマイクロサンプリングツールは
　顕微鏡下でマニュピレータを用い
　正確に狙った異物を捕らえます

■5umに満たない微小異物でも
　多数集めてFT-IRにて測定することが可能です

【解析・信頼性評価事業】　■電子部品各種データ収集から故障解析までの解析・評価　■研究開発・製造における原材料評価および特性評価【検査装置開発事業】　■太陽光パネル検査・測定器の開発・販売【電子機器修理事業】　■産業用機器およびパソコンの修理【ウェハー加工事業】　■ウェハー加工サービスおよび販売

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