卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の
卓上型マグネトロンスパッタ装置です。

基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで
構成される金属薄膜用スパッタ。

RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの
拡張オプションにより、研究ステージに合せて
グレードアップしていただくことが可能です。

【特長】
■初期導入コストを抑え、後の拡張で高性能化が可能
■基本仕様でアルゴン用MFCを備えており、ガス流量を精密に制御
■成膜方向は試料へのゴミ付着を防止するためにデポアップを採用
■卓上タイプながら真空シール性の高いSUSチャンバを採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）