ドライエッチング温度制御(冷却) 事例

基本情報ドライエッチング温度制御(冷却) 事例

ナノミストによるドライエッチング温度制御(冷却) 事例

＊チラー、現況冷媒、Heが無くなる！
＊新冷媒は安全・安価な物質を使用
＊ナノ化により温度制御のレスポンスが極めて早い⇒温度管理精度のUP
＊発熱対象エリアの熱の均一化させる作用

■ナノテクノロジーを利用した各種素材の研究開発 ■ナノテクノロジーを利用した各種機器およびプラント機器の研究開発　ならびに効果測定業務の受託および測定結果の証明業務の受託 ■前各号の研究開発の事業化に関するコンサルティング業務 ■工業所有権の保有、許諾、売買ならびに管理運用

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須	通常至急
ご要望必須	購入希望見積もり希望カタログ送付希望価格表送付希望連絡希望訪問希望その他あと文字入力できます。
目的必須	新規導入既存入れ替え試作検討情報収集
添付資料
お問い合わせ内容	あと文字入力できます。【ご利用上の注意】お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方すでに会員の方はこちら

イプロス会員（無料）になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社フェザーグラス