似て非なる物の解析基本手法

解析手法の基本的で応用範囲が広い光学顕微鏡観察からSEM観察、
EDX元素分析までの流れをご紹介致します。

光学顕微鏡による観察は基本的な観察手法の一つであり、大まかな
形状観察等を素早く行えます。また、特長は色情報が得られる事で、
腐食等の変食を伴う異常の観察に活躍。

当資料では、この他にも「SEMによる観察」や「EDXによる元素分析」を
写真やグラフを用いて詳しく解説しております。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■光学顕微鏡による観察
■SEMによる観察
■EDXによる元素分析

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

アイテスでは有機・無機物の分析、異物、表面分析等、目的・試料に適した
受託分析メニューをご提案・実施いたします。

この部門では、高度なサンプリング技術を用いて微小異物の成分分析を行う
微小異物分析や、試料中の不純物分析等、有機・無機の成分分析・定量分析を行います。

また、表面汚染・酸化状態など、試料最表面の分析を行います。

【サービス一覧】
■熱分解 GC/MSによるエポキシ樹脂硬化物の成分分析
■イメージングFT-IRによる微小有機異物の分析
■顕微ラマン分光法による微小異物の分析
■イオンクロマトグラフ分析（IC）　など

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検査員の目視だけでは、見逃す形状を鮮明に観察することによって、
不具合を的確に把握することができます。

広範囲の一括観察や部分拡大も可能、様々な観察に対応いたします。

また、IPC-A-610 認証IPCスペシャリストが在籍しており、国際規格に
則って観察のお手伝い、ご相談、様々な観察のお悩みに対応できます。

【特長】
■広範囲の一括観察や部分拡大も可能
■様々な観察に対応
■全面観察後、箇所に関係なく鮮明な拡大観察が可能
■予定外箇所の追加観察も容易
■IPC-A-610 認証IPCスペシャリストが在籍

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当社では、日立ハイテク社製の卓上型SEM(電子顕微鏡)『TM3030Plus』を
取り扱っています。

SEM観察が一般化されて半世紀。様々な分野にてSEM観察は重要な観察手段と
なっています。

卓上型SEMの"帯電軽減モード"なら、FE-SEMでは観察できない試料も観察、
分析が可能。半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、
生物分野でも活用できます。

【特長】
■半導体、電子部品などの導電性のある試料は主に通常/導電体モードで
　SEM観察がお勧め
■プラスチック、紙、ゴム、セラミックスなど導電性のない試料や
　水分・油分を含む生物、などの観察は表面・通常/帯電防止モードでの
　SEM観察がお勧め

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『銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析』についてご紹介いたします。

抵抗測定用銅圧着端子治具の接合部について断面作製を実施し、作製した断面に
ケミカルエッチングを施し、エッチング前後で金属組織を観察。

その結果、検出元素が、P(リン), Ag(銀), Cu(銅)であることから、銀入りの
りん銅ロウ付け材であると推察します。

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SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度についてご紹介します。

一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっき表面を分析した際、下層のNiが
露出していないにも関わらず検出される場合があります。

これは電子線の散乱深さに関連性があり、正しい分析結果を得るには適切な
加速条件を設定する必要があります。

今回、モンテカルロシミュレーションを用いて加速電圧の違いによる
EDX検出深さについて確認を実施。

今回はほんの一例に過ぎませんが、正しい分析結果を得るには電子が
どのように散乱しているか想像しながら加速電圧を設定することが大切です。

【テスト基板概要】
■試料は一般的なプリント基板（PCB基板）のAuめっきパッドを用いた
■層構成はCu配線上にNiめっき/Auめっきが施されたもの
■Auめっきの厚みは断面観察より、212nm

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EDX分析を行う際には元素の検出感度を上げる為に高い加速電圧で分析を
行っている方も多いのではないでしょうか？

しかし目的によっては必ずしも高加速電圧での分析が良いとは限りません。

白色LEDは青色LEDに黄色の蛍光体（粉体）を組み合わせて白色光を発生
させており、今回、この蛍光体について加速電圧を変え面分析を行うと、
どのような違いがあるのか確認しました。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■テスト試料（LED蛍光体）
■加速電圧の違いによる面分析像
■モンテカルロシミュレーションによる電子線散乱領域からの考察

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アイテスでは電子部品、実装基板、半導体、化合物半導体、パワーデバイス、
フィルム、樹脂成形品、太陽パネル、液晶ガラスなど
さまざまな部品・材料の断面を受託加工作製します。

また作製した断面の観察や分析を行い、不良解析や出来栄え評価などを
受託分析いたします。

【サービス一覧】
■機械研磨
■CP加工
■ミクロトーム
■FIB加工
■半導体拡散層の解析　など

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試料の観察には光学顕微鏡とSEM（走査電子顕微鏡）がよく用いられますが、
それぞれ特長があるので目的に応じた装置を選択する事が大切です。

当資料では、光学顕微鏡とSEMを同じサンプルで比較し一般的に言われている
メリット、デメリットをご紹介。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■光学顕微鏡の特長
・メリット／デメリット
・こんな観察にお勧め
■SEM（走査電子顕微鏡）の特長
・メリット／デメリット
・こんな観察にお勧め

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）