【EBSDによる解析例】カニカン

長期の使用により破損したカニカンの破断部について、観察、
元素分析、EBSDによる解析を行いましたので紹介致します。

EDXによる元素分析では、マッピング分析の結果、Pb結晶の
粒界にSbの分布が見られました。

また、EBSD法により結晶粒の配向性や方位差を確認できました。

【解析概要】
■EDXによる元素分析
・マッピング分析の結果、Pb結晶の粒界にSbの分布が見られた
■EBSDによる解析
・EBSD法により結晶粒の配向性や方位差を確認することができた

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『EPMA分析』は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に
微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。

100×100mmサイズも対応でき、広範囲のマップが取得可能。

酸化インジウム・スズ薄膜上の異物分析例では、SEM-EDXに
比べ、エネルギー分解能・検出限界・PB比が良好でした。
また、微量元素の検出やSEM-EDXでは検出が困難な分析が可能です。

【特長】
■エネルギー分解能や検出感度が良い
■特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れる
■ステージ可動により広範囲のマッピングが可能
■100×100mmサイズも対応可能

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長期の使用により破損したカニカンの破断面について、SEMによる観察を
行いましたので紹介致します。

破断面端では、塑性変形の跡(ディンプル)が見られ、引っ張られて
破断したことが推測されました。

破断面中央付近は、様子が異なり、ディンプルは僅かに見られる程度で、
引っ張られて破断した様子はほぼ見られず、中央付近ではすでに空隙が
存在していたのではないかと推測できました。

他にも多種の観察が可能ですので、まずはお気軽にお問い合わせ下さい。

【破断面観察概要】
■破断面端
・塑性変形の跡(ディンプル)が見られた
■破断面中央付近
・引っ張られて破断した様子はほぼ見られなかった
・すでに空隙が存在していたのではないかと推測できた

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EPMA分析は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析や
マップ分析等に優れています。

パッケージ内のAu-1stボンディグで不良が発生した例では、腐食原因物質の
特定と分布状況を確認するため、EDX分析とEPMA分析を実施しました。

EPMAでは分解能、検出下限、P/B（ピークバックグラウンド）比が、EDXより
優れているため、微量のCl分布が明瞭に把握することができました。

【装置仕様】
■日本電子（株）製 Jeol-8200
■分析方式：波長分散型X線分析（WDX）
■分析可能元素：B～U
■エネルギー分解能：20eV（EDXは約130eV）
■検出限界：0.01％～
■最?試料寸法：100×100mm

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EPMAによる状態分析では、酸化物やケイ酸塩の化学結合状態（イオン価、
結晶構造、配位数）の異なりから、特性X線ピーク波長に変化（シフトや波形）が
生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。

2種類の銅酸化物の識別において、黒色CuOと赤色Cu2Oの色彩による識別が
困難な場合、特に電子顕微鏡が必要なミクロな対象物に対して、EPMAによる
酸化状態の把握が可能です。

また、Al表面の薄い酸化層の測定には最表面分析手法のXPSが有効ですが、
異物等の微小物や塊状物、バルク、複合材等に対して、EPMAによる酸化状態の
把握ができます。

【装置仕様】
■日本電子（株）製 Jeol-8200
■分析方式：波長分散型X線分析（WDX）
■分析可能元素：B～U
■エネルギー分解能：20eV（EDXは約130eV）
■検出限界：0.01％～
■最大試料寸法：100x100mm

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EBSDの事例として、アルミの溶接断面を断面方向から分析を
行いましたので、ご紹介いたします。

アルミケースにアルミ板をスポット溶接したサンプルについて、
溶接部の断面を作製し、EBSD分析を実施。

結晶粒サイズの分布では、母材部に比べ、溶接部は大きな
結晶粒が多く分布していることが確認できました。

【解析概要】
■結晶粒の可視化
・母材部に比べ、溶接部は結晶粒の形状や大きさが異なることが分かる
■結晶粒サイズの分布
・母材部に比べ、溶接部は大きな結晶粒が多く分布していることが確認できる

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当資料では、長期の使用により破損したカニカンについて、断面から観察
及び元素分析、超微小硬度測定を行った事例をご紹介しています。

"超微小硬度計による硬度比較"をはじめ"破断部の面分析結果と超微小硬度
(低荷重)の関係"などを写真や図を用いて分かりやすく掲載。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■破損したカニカンの観察
■超微小硬度計による硬度比較
■破断部の面分析結果と超微小硬度(低荷重)の関係

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EBSDで解析したシリコンウエハの事例をご紹介いたします。

ウエハから小片を切り出し、中央50×50μmの領域にてIPFマップを取得。
測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないこと
から単結晶であることが確認できます。

測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、
逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。

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似たような元素組成をもつ2種類の黄銅材について比較を行った事例を
ご紹介いたします。

SEM-EDXでスペクトル分析を行ったところ、黄銅は主としてCu(銅)とZn(亜鉛)
から成り、両試料の元素組成は比較的似通っているように見えました。

また、EBSD分析を行い相マップを確認した結果、試料1の⼀部に結晶構造の
異なるβ相が見られました。

【事例概要】
＜元素分析による2つの黄銅材の比較＞
■分析方法：SEM-EDXによる分析
■結果
　・スペクトル分析を行ったところ、黄銅は主としてCu(銅)とZn(亜鉛)から成り
　両試料の元素組成は比較的似通っているように見えた
　・元素Cuと元素Znについて面分析を行ったが、面内分布に偏りは見られなかった

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