株式会社アイテス
最終更新日:2023-01-12 17:18:04.0
EBSDによる解析例(セラミック)
EBSDによる解析例(セラミック)
セラミック(Al2O3)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
「観察/元素分析」では、EDXによる元素分析からAl2O3と判断され、
マップよりSiが点在している様子が観察されました。
「EBSDによる解析」では、EBSD法により結晶サイズの分布や配向性を
確認でき、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特長を
可視化できます。
【解析概要】
■観察/元素分析
・SEMによる観察とEDXによる元素分析
■EBSDによる解析
・EBSDにて結晶構造を観察
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
EPMA分析
『EPMA分析』は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に
微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。
100×100mmサイズも対応でき、広範囲のマップが取得可能。
酸化インジウム・スズ薄膜上の異物分析例では、SEM-EDXに
比べ、エネルギー分解能・検出限界・PB比が良好でした。
また、微量元素の検出やSEM-EDXでは検出が困難な分析が可能です。
【特長】
■エネルギー分解能や検出感度が良い
■特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れる
■ステージ可動により広範囲のマッピングが可能
■100×100mmサイズも対応可能
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【EBSDによる解析例】カニカン
長期の使用により破損したカニカンの破断部について、観察、
元素分析、EBSDによる解析を行いましたので紹介致します。
EDXによる元素分析では、マッピング分析の結果、Pb結晶の
粒界にSbの分布が見られました。
また、EBSD法により結晶粒の配向性や方位差を確認できました。
【解析概要】
■EDXによる元素分析
・マッピング分析の結果、Pb結晶の粒界にSbの分布が見られた
■EBSDによる解析
・EBSD法により結晶粒の配向性や方位差を確認することができた
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EPMAによる微量元素の検出
EPMA分析は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析や
マップ分析等に優れています。
パッケージ内のAu-1stボンディグで不良が発生した例では、腐食原因物質の
特定と分布状況を確認するため、EDX分析とEPMA分析を実施しました。
EPMAでは分解能、検出下限、P/B(ピークバックグラウンド)比が、EDXより
優れているため、微量のCl分布が明瞭に把握することができました。
【装置仕様】
■日本電子(株)製 Jeol-8200
■分析方式:波長分散型X線分析(WDX)
■分析可能元素:B~U
■エネルギー分解能:20eV(EDXは約130eV)
■検出限界:0.01%~
■最?試料寸法:100×100mm
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EPMAによる状態分析
EPMAによる状態分析では、酸化物やケイ酸塩の化学結合状態(イオン価、
結晶構造、配位数)の異なりから、特性X線ピーク波長に変化(シフトや波形)が
生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。
2種類の銅酸化物の識別において、黒色CuOと赤色Cu2Oの色彩による識別が
困難な場合、特に電子顕微鏡が必要なミクロな対象物に対して、EPMAによる
酸化状態の把握が可能です。
また、Al表面の薄い酸化層の測定には最表面分析手法のXPSが有効ですが、
異物等の微小物や塊状物、バルク、複合材等に対して、EPMAによる酸化状態の
把握ができます。
【装置仕様】
■日本電子(株)製 Jeol-8200
■分析方式:波長分散型X線分析(WDX)
■分析可能元素:B~U
■エネルギー分解能:20eV(EDXは約130eV)
■検出限界:0.01%~
■最大試料寸法:100x100mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
【EBSDによる結晶解析】 アルミ溶接部(スポット溶接)
EBSDの事例として、アルミの溶接断面を断面方向から分析を
行いましたので、ご紹介いたします。
アルミケースにアルミ板をスポット溶接したサンプルについて、
溶接部の断面を作製し、EBSD分析を実施。
結晶粒サイズの分布では、母材部に比べ、溶接部は大きな
結晶粒が多く分布していることが確認できました。
【解析概要】
■結晶粒の可視化
・母材部に比べ、溶接部は結晶粒の形状や大きさが異なることが分かる
■結晶粒サイズの分布
・母材部に比べ、溶接部は大きな結晶粒が多く分布していることが確認できる
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【EBSDによる解析例】シリコンウエハ
EBSDで解析したシリコンウエハの事例をご紹介いたします。
ウエハから小片を切り出し、中央50×50μmの領域にてIPFマップを取得。
測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないこと
から単結晶であることが確認できます。
測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、
逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。
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【EBSDの事例】2つの黄銅材を比較
似たような元素組成をもつ2種類の黄銅材について比較を行った事例を
ご紹介いたします。
SEM-EDXでスペクトル分析を行ったところ、黄銅は主としてCu(銅)とZn(亜鉛)
から成り、両試料の元素組成は比較的似通っているように見えました。
また、EBSD分析を行い相マップを確認した結果、試料1の⼀部に結晶構造の
異なるβ相が見られました。
【事例概要】
<元素分析による2つの黄銅材の比較>
■分析方法:SEM-EDXによる分析
■結果
・スペクトル分析を行ったところ、黄銅は主としてCu(銅)とZn(亜鉛)から成り
両試料の元素組成は比較的似通っているように見えた
・元素Cuと元素Znについて面分析を行ったが、面内分布に偏りは見られなかった
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取扱会社 EBSDによる解析例(セラミック)
【解析・信頼性評価事業】 ■電子部品各種データ収集から故障解析までの解析・評価 ■研究開発・製造における原材料評価および特性評価 【検査装置開発事業】 ■太陽光パネル検査・測定器の開発・販売 【電子機器修理事業】 ■産業用機器およびパソコンの修理 【ウェハー加工事業】 ■ウェハー加工サービスおよび販売
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