蛍光X線測定装置『X-RAY XDV-μ WAFER』

ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計されたモデル！

『FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μWAFER』は、ポリキャピラリーレンズ搭載の蛍光X線測定装置です。

ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別に設計された
モデルです。

さまざまな測定における理想的な励起条件を作り出すために、電動式で
切り替え可能な一次フィルターを採用しています。

【特長】
■ユーザーフレンドリーな構造
■革新的なポリキャピラリーレンズを搭載
■高精度で高分解能な検出感度を実現
■再校正に必要な時間や労力を大幅に削減可能
■簡単に膜厚測定と素材分析ができる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。