タニムラ　クリーンルーム用導電性ウエハー用クッション TN-CWC

一般的なクッション材には、発泡スポンジ材やエアーキャップなど様々な緩衝材があります。
しかしこれらの製品は、製造課程で使用する発泡剤の残渣や、プチプチ粒の破裂時に粒内の空気が外部に漏出するため、クリーンルーム内の作業には対応できません。
一方 本製品は、製造時に発泡剤を一切使用せず、「発泡剤の残渣」による粉塵汚染を防ぎます。
また一般的な帯電防止材料（ピンクやブルー着色）とは違い、長期的に静電気防止効果を発揮します。
さらに一般の帯電防止品とは違い、帯電防止剤が表面にブリード（析出）して発塵することがありません。
低VOC（揮発性有機化合物）製品であるため、金属腐食やフォギングの心配がありません。
もちろん、化学発泡剤が原因である「発泡PEフォーム特有の臭い」もありません。
安定した静電気対策を必要とする「クリーンなESD対策緩衝材」として、様々な用途で使用します。 （詳細を見る）

本製品には導電性クリーンフォームMK-CPF を使用しております。
●本製品は製造時に発泡剤を一切使用せず「発泡剤の残渣」による粉塵汚染を防ぎます。
●一般的な帯電防止材料（ピンクやブルー色）とは違い、半永久的な静電気耐電防止効果を発揮します。
●ピンクやブルーとは違い、帯電防止剤が表面にブリード（析出）することがありません。
●低VOC（揮発性有機化合物）製品であるため金属腐食やフォギングの心配もありません。
●化学発泡剤が原因である「発泡緩衝材（クッション材）特有の臭い」もありません。
※クリーンパック品ではありませんので、必要な場合はエアブローなどの表面清掃を行ってください。 （詳細を見る）

ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます
一般の紙類は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。
ウエハーの合紙（挿間紙）を使用するときは、本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。
表面にエンボス加工を施したWSEと フラットなWSFの２種類から選択できます。
「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、クッション性と剥離性が向上します。
本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー（無塵紙）を使用しています。
それらをクリーンルームにて加工を行い、その後真空パック（クリーンパック）を行っています。
「ウエハー用クリーン合紙」を合紙として使用することで安心して保管・運搬ができます。 （詳細を見る）