【THK】　精密ステージ 高応答XYステージ EX

【低イナーシャ構造で、優れた応答性を実現した高応答ＸＹステージ】

《特長》
■シンプルなXY構造
　案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

■優れた応答性
　クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。

■高剛性XYステージ
　XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

■ガタのない連結機構
　X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。

［モータ軸換算負荷：慣性モーメント］
EX0505：X軸 0.024［kg・cm2］、Y軸 0.027［kg・cm2］
EX0808：X軸 0.026［kg・cm2］、Y軸 0.03［kg・cm2］