マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､ランプハウスが所定の位置に移動し､設定光量...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

ました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡ オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送か...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

シャーレ　焼口

シャーレ　焼口

透明度の優れた平面の板硝子を加工して底面、上蓋は凸凹がなく、焼口で肉厚が一定しており細菌培養、微生物研究用、一般生化学研究用、フィプリンプレート用など一般研究実験用に使用されております。また、顕微鏡察による乱反射がありません。シャーレの密封にはシーリングテープをご使用下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社相互理化学硝子製作所（TOP）

事業案内　検査事例の紹介「精密部品」

チップ状態の検査では素子面、ガラス面それぞれの検査が可能

【特徴】 ◯撮像素子等で使われる、マイクロレンズアレイに発生した 　９０ナノメータのクラック検査に実績あり ◯チップ状態の検査では素子面、ガラス面それぞれの検査が可能 ◯顕微鏡で見ている画像を、広範囲に撮像することが可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノス