精密片面ラッピングポリッシング装置　TR15S

磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適…

磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適です。プレート面の振れや摺動抵抗等の精度を追求することにより、加工対象物に無理な力をかけずに安定した加工レートを得られ、且つ加工中のスクラッチ発生を除去しています。 また、フェーシング機構・循環式水冷機構の採用により、プレートの平坦度を常に管理・維持ができます。 加えて、オシレーション機構・強制ドライブ機構の採用によりさまざ...

メーカー・取り扱い企業： テクノライズ株式会社

オジープ処理ーOGEP-V3ー

腐食性ガス・放出ガスの発生を抑える電解研磨

オジープ処理(OGEP-V3)とはアルミ及びステンレスチャンバー（オーステナイト系・マルテンサイト系）に対応できる電解研磨です。半導体製造装置部品等に使用でき、真空装置の真空時に発生する放出ガスを抑える効果があります。電解研磨では腐食性の「硫黄ガス」が発生しますが、オジープ処理は発生しません。 オジープ処理はアルミニウムに行う「オジープ・Al」とステンレスに行う「オジープ・SUS」があります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オジックテクノロジーズ