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日常点検の負担を軽減しました。 小型化・軽量化・LCD表示で見やすく…
●センサユニット交換方式の定置型半導体材料ガス検知部 ●校正済みのセンサユニットをお届けしお手元で交換が可能なので、現場でのガス校正が不要 ●NF3検知に対応 ●Modbus(RS-485/Ethernet)に対応※Ethernet通信はPoEに対応 ●CE規格、SEMI規格適合...●サンプリング流量の自動制御・目詰まり警報機能付き（特許登録済） 日常点検時の流量チェックが不要になりま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業
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