「Yano E plus」2018年2月　次世代ナノインプリント

定期刊行物「Yano E plus」の 2018年2月号です。

◆トピックス◆ 《次世代市場トレンド》 ●次世代ナノインプリント技術動向 ～エポックメイキングな技術的ブレークスルーに 　先ず半導体微細化の壁を突き破り、光学やバイオなどへ フォトリソグラフィーからナノインプリントへ 半導体製造におけるフォトリソグラフィー・プロセスは、フォトマスクと呼ばれる原版に描画された回路パターンを、露光装置を通して半導体基板上のレジストに転写し、エッチングマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社矢野経済研究所