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R&D小型卓上スピンコーター。 MAX2インチ用軽量コーター。真空ポ…
装置仕様 ・本体サイズ:W170×D205×H195mm(安全蓋開放時:370mmH) ・本体重量:3.4Kg ・回転数:2000~8000rpm(MAX) ・対象基板サイズ:MAX50mm□・2インチウエハ ※異形サイズは、吸着テーブルの形状を変更し...
メーカー・取り扱い企業: ネクス株式会社
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【最小・最軽量クラス・簡単操作設定】 出張や移動に最適な軽量ハンデ…
装置仕様 ・本体サイズ:W140×D205×H195mm(安全蓋開放時:330mmH) ・本体重量:3.3Kg ・回転数:2000〜8000rpm(MAX) ・対象基板サイズ:25mm□・1インチウエハ ・基板吸着方法:真空ポンプによる吸着 (本体内蔵タ...
メーカー・取り扱い企業: ネクス株式会社
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