円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイドも少ない） ■EBR（Edge Back Rinse）不要で工程数を削減 ■圧倒的な省液性を実現（塗...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

グリーンアンモニア合成・利用の新展開

社会実装に向けた製造技術から燃焼、水素キャリアとしての活用まで

　140頁 ■定価：40,000円＋税 ■発行：エヌ・ティー・エス 第1編　次世代アンモニア合成技術 1章　粉末光触媒による水を電子源としたアンモニア合成技術 2章　Ru触媒と水素透過膜を用いたアンモニア電解合成技術 3章　グリーンアンモニア合成触媒の評価方法 4章　固体電解質を利用したアンモニア電解合成技術 5章　電場印加による表面プロトニクスを活かした低温アンモニア合成 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス