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特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ
センサチャンバは316L(VAR材)を0.18Raに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。 堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減少させます。 また85℃までのベーキング処理が可能です。全品ヘリウムリークテストを実施しています。...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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