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優れた熱伝導性、高い電気絶縁性、およびシリコン(Si)に近い熱膨張率の…
【特長】 ・金属アルミニウムに匹敵する優れた熱伝導率 ・シリコンに近い熱膨張率 ・高い電気絶縁性 ・フッ素系ガスなどに対する耐プラズマ性 ・欠陥となるボイドがない緻密な焼結体 ・目的に応じた材料選択(高熱伝導タイプ/高純度タイプ) ・半導体製造装置関連に対応したサイズ 【推奨サイズ】 φ1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社MARUWA 本社,東京支店,関西支店,東北営業所,北信越営業所,九州北営業所,R&Dセンター
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