空圧アクティブ微振動制御システム『αシリーズ』

3点から多点支持まで可能！装置の仕様・要求にあわせた微振動制御技術

『αシリーズ』は、微振動制御技術の粋を結集した空圧アクティブ 微振動制御システムです。 半導体・液晶がますます微細化され、生産効率を上げるために、 高精度、高速化へ推移し、そこでは大きな直動外乱を素早く解消する技術が 求められています。 当製品は、このような市場の要望に応え、優れた除振性能、制御性能、 および復元性能を有します。 【特長】 ■優れた振動絶縁特性 ■早い...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社