オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､ランプハウスが所定の位置に移動し､設定光量露光､自動退避までを...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

高反射率アルミシート「MIRO(R)」

遠赤外線域まで安定した反射率を持ちます！光学機器やソーラーシステムなど…

アルミニウムの表面に高純度アルミを真空蒸着、さらに酸化膜を蒸着して増反射処理を行った高性能反射板。可視光全反射率は95％でガラスの鏡(85％～87％)よりも優れています。 特殊照明器具のリフレクターに使われていましたが、近年ではLED照明器具、液晶表示装置、複写機、ストロボなどの光学機器やソーラーシステムなどの自然光利用装置など多方面に利用が広がっています。...【特長】 ○照明器具の照度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マテリアルハウス