ガス圧高温炉

各種仕様の高温炉を標準化し、セラミックスをはじめとする多様な高機能材の…

『ガス圧高温炉』は、セラミックスやグラファイトなどの焼成や 焼結に使用される炉です。 N2、Ar、Heなどの不活性ガス雰囲気を使用し、真空から0.99MPaまでの 高圧雰囲気中で2,800℃までの高温運転が行える不活性ガス雰囲気炉をはじめ、 大気やO2雰囲気中で、1,700℃まで加熱できる酸化雰囲気炉や、H2雰囲気や 0.01Pa以下の高真空中で、2,500℃まで加熱できる高真空雰囲...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

『RSコータ』は、独自スリットダイで自由に円形塗布ができる装置です。 円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイド...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社