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SiCは共有結合性が強いセラミックスで、アルミナを上回る硬度があります…
硬度が高いため、摺動摩耗に強い特性も兼ね備えています。 熱伝導率も高いです。 炭化珪素(SiC)は、半導体製造装置やLED製造装置などのチャンバー内部品、エッチング装置用基板トレーや、焼成用治具(コンデンサー他） などに使われています。 炭化珪素(SiC)は、耐熱（1,000度以上でも）性や耐薬品性（耐プラズマ性）、耐磨耗熱伝導率の良さ、緻密さ、強度が生かされています。 こんな使い方は...
メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部
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