拡散炉・CVD炉用高温断熱材『断熱リング』

拡散炉・CVD炉用！酸化ホウ素を含有しないアルミナ長繊維を使用した特許…

『断熱リング』は、半導体製造工程で使用される拡散炉・CVD炉用高温断熱材です。 外被材及び縫糸は高耐熱性アルミナ長繊維を使用し、長寿命。外被材組成は Al2O3 72%、SiO2 28%からなり、繊維径は7μmφと細く柔軟性に優れています。 ニチビにしかない高グレード品として、さらに低不純物素材を使用した 先端ニーズ品があります。 【特長】 ■外被材及び縫糸は高耐熱性アルミ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社