円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

『RSコータ』は、独自スリットダイで自由に円形塗布ができる装置です。 円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイド...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

火炎内処理設備『INFLAZ』ミニ試験機

少量試作に適した低価格版が登場！当社従来試験設備の1/8（容積比）を実…

『INFLAZ』は、純酸素燃焼バーナの高温火炎を利用した 火炎内処理設備です。 粉体の球状化や噴霧焼成を対象に製品の歩留まり・品質向上、 既存プロセスの改善にお勧め。 球状化以外に、不純物除去などにもご使用いただけます。 【特長】 ■少量からのテストが可能 ■投資コストを大幅削減：当社従来試験設備の1/5を実現 ■コンパクトサイズ：当社従来試験設備の1/8（容積比）を実...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社