『高精度圧力測定器』

非常に低い温度係数により優れた温度安定性を実現！高精度圧力測定システム

『高精度圧力測定器』は、キャパシタンス・ダイアフラム・センサ技術と ソリッドステート・エレクトロニクスをベースにしたシステムです。 先端プロセス/計測の現場で求められる機能を搭載し、製造ライン、 計測研究所を問わず高精度計測をサポートします。 製造および研究の現場で、長年にわたり圧力測定の標準モデルとして 実績のあるMKSの高精度バラトロンには、各種圧力レンジ、精度、 オプシ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

高温デジタルキャパシタンスマノメーター『DA03A』

高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに！

「DA03A」は、RoHS対応のデジタル高温タイプBaratron（R）キャパシタンスマノメータです。 高温で動作することによりセンサ内部へのプロセス副生成物の堆積を最小限に抑えます。 これにより副生成物堆積によって生じる出力ドリフトをほぼ無くします。 150℃または160℃の動作温度で使用でき、メタルエッチングや絶縁膜CVDのような半導体製造における最も必要とされかつ環境の厳しい真空プロセ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現...150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

圧力トランスデューサ　Type AA07A/Type AA08A

お客様のニーズに合わせてカスタム構成可能なビルディングブロックデザイン…

『Type AA07A/Type AA08A』は、優れた価値および性能を有した 高精度の圧力トランスデューサです。 Incoloyを使用した堅固なセンサ筐体による極めて低い熱係数で 幅広い温度範囲にご使用いただけます。 高精度、長期安定性、低熱係数により昨今のガス測定アプリケーションに 必要な測定再現性を実現します。 【特長】 ■優れた価値と性能 ■接ガス部はIncol...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

『Baratron600シリーズ』

優れた長期安定性でプロセスの再現性を実現！キャパシタンスマノメータ

『Baratron600シリーズ』は、苛酷なプロセス環境においても正確で 再現性の高い圧力、真空測定が可能なように設計されたRoHS対応の 絶対圧型キャパシタンスマノメータです。 最も安定性の高い低圧測定圧力トランスデューサとして利用されています。 【特長】 ■最小2.66PaF.S.を実現 ■ガスの成分に関係なく、トータル圧力を直接測定 ■読みの％精度で、1×10-4F.S...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社