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ジェット洗浄タイプ(非接触式)と、スクラブ洗浄タイプ(接触式)の2種類…
今まで手作業での洗浄や、業者へ洗浄を依頼していたりとランニングコストや作業面でお困りではありませんか? 本装置はダイシングフレームを自動搬送で洗浄処理致します。 ・ジェット洗浄タイプ(ランニングコスト低減に特化したタイプ) ・スクラブ洗浄タイプ(洗浄力に特化したタイプ) 上記の2種類をラインナップしております。 お客様でご使用のフレーム汚れに合った仕様を選んで頂くことで品質や、コスト...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…
特徴 ●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。 ●実績が示す万全の安全対策 ●オールステンレスにより破損の危険性を排除 ●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減 ●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です。...装置仕様:IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象:6インチ 1カセット相当 シリコン、ガラス、部品等 槽構成...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計(従来機から約40%コンパクト化) レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用するこ...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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