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移載ロボットのネジカバー装備でクリーンルームを守る!
LSIや超LSIなどの半導体集積回路の製造には、さまざまな高性能機械装置が使われています。そして、これらの装置のすべての操作は、塵が全くないと言っていいほどの清浄な部屋(クリーンルーム)の中で行われています。不良品発生の原因となる超微細な塵をシャットアウトするため、移載ロボットのネジカバー装備があります。ジャバラのネジカバーの特長はクリーン度の要求を満たす材料、環境にやさしい材料を使用しています。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャバラ/JABARA CO.,LTD.
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