MEMSデバイスの3次元構造観察

高分解能・高コントラストな観察を実現！非破壊で3次元観察することが可能

「MEMS」には、立体的で可動部を有するMEMS構造体が中空で 封止されています。 この構造をあるがままに観察するためには開封などの加工を行わず 観察することが必要です。 3次元X線顕微鏡(X線CT)は、非破壊で3次元観察でき、できばえ解析・ 不具合解析・リバースエンジニアリングに有効です。 【3次元X線顕微鏡 特長】 ■対象物の内部を非破壊で3次元観察することが可能 ■試料を透過したX線を...

メーカー・取り扱い企業： 東芝ナノアナリシス株式会社