【事例】液晶基板検査装置のアクティブ除振対策

エアサーボアクティブ除振装置で対策！全周波数域に亘って良好な振動環境を…

液晶基板検査装置のアクティブ除振対策事例をご紹介します。 大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の振動環境を 事前調査したところ許容値を超えていました。 本測長機は光学的にパターンの線幅...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社

デスク型パッシブ除振台『OS FLOAT DESKシリーズ』

精密検査/測定装置に！お客様の設置環境に合わせた様々な種類をご用意して…

検査/測定分野では、ますます効率化と迅速化が求められ、外乱となる 振動に対して素早く除振をする技術が求められています。 この要望に的確に応えるため、特許機器の『OS FLOAT DESKシリーズ』は、 優れた除振性能を発揮。 また、お客様の設置環境に合わせた様々な種類をご用意しております。 高分解能検査や観察などの先端業務を当製品で確実にサポートします。 【特長】 ■優れ...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社