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既存機の改造でAPC交換が出来るようになった事例のご紹介
既存のATCをAPCへの改造した事例をご紹介いたします。 50本ATCを25APCへの改造、ワーク(8kg)を上向きに取付、反転して チャックに取付を要望していました。 既存機の改造でAPC交換が出来る様になり、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社西野製作所
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シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例を…
半導体業界へ「アニール装置」を改造した事例をご紹介いたします。 既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。 チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で ストッカからアニールステー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社西野製作所
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