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    【研磨パッド(PAD)】の二次加工の効果

    製品の効果を最大限にアップさせる為に

    下の事が考えられます。 ・研磨スラリーを研磨機の内周部まで行き届かせ、均一な研磨加工を実現させる。 ・研磨レートの向上に繋がる。 ・研磨切粉(スラッジ等)の排出がスムーズになる。 ・上下定盤でピッチ幅を変える事により基板・ワークの吸い付き現象を低減させる。 溝仕様については、溝幅、ピッチ幅、深さ、型(凹型、U型)等ご希望により 指定できます。 ※溝は「格子状溝」が基本となりま...

    メーカー・取り扱い企業: 八千代マイクロサイエンス 株式会社

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