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電動アクチュエータ CMX (精密ステージ) [THK公式]
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ(特許取得済)
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX(アライメントステージ)は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装...
メーカー・取り扱い企業: THK株式会社
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電動アクチュエータ CHX (精密ステージ) [THK公式]
超薄型、高剛性、高精度を実現
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CHX(小型アライメントステージ)は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。 ...
メーカー・取り扱い企業: THK株式会社
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