3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

バー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【解析事例】三菱化学 様

化学反応分野における汎用熱流体解析プログラムの活用事例をご紹介！

今回は、二相流、化学反応分野における当社のCFD利用事例をご紹介します。 三菱化学様では、「撹拌槽」を主なテーマとして解析が行われています。 化学反応の解析も行っていますが、自分達で反応速度パラメータを導き出さ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを 　計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

バー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【資料】不具合の原因を化学の視点で解決します

不具合の原因を化学の視点で解決！化学、および反応機構でアプローチする方…

で解決することがあります。 当資料では、何が起きているのかを化学、および反応機構で アプローチする方法をご紹介します。 【掲載内容】 ■クラック（割れ）、剥離 ■変色、変形 ■化学反応機構（エポキシ樹脂硬化例） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

リアクションモニタリング FT-IR『MATRIX-MF』

測定波数域を化学情報が豊富な中赤外領域に特化！ラボとプロセス環境の両方…

『MATRIX-MF』は、化学反応や生化学反応のリアルタイムモニタリングや 分析に好適なプロセス測定用FT-IR分光計です。 恒久的なアライメントが保証されたRockSolid干渉計とDigitect検出器機構 により、...

メーカー・取り扱い企業： ブルカージャパン株式会社 オプティクス事業部

数値解析（C.F.D.）の受託業務

CADデータの修正、解適合解析等を実例に基づくアニメーションでの説明！

【解析可能分野】 ■圧縮、非圧縮性流体解析 ■ウズ、乱流解析 ■熱解析、燃焼解析 ■化学反応解析、混合ガス（流体・気体）拡散解析 ■構造解析との連成解析 【解析シュミレーションの手法】 ■ご依頼の内容に基づいて、3次元のCADによるモデル作成 ■作成したモデルに各種条件を設定...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社Ｔ＆Ｄソリューション

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを 　計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

バー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

バー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

ミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【解析事例】炭化水素改質反応プロセスの最適化

豊富なポスト処理機能で総合的な結果判断を行った最適化事例をご紹介！

当社の「modeFRONTIER」を、炭化水素改質反応プロセスの 最適化に適用した事例をご紹介します。 詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成し、圧力P、 予熱温度Tin、酸素量及び水蒸気量を変化させ、 H2濃度が最大、CH4濃度、CO濃度が最小となる操作点を探索しました。 この問題は非常に非...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

【解析事例】メタン燃焼条件の最適化

トレードオフ関係における最適解の探索に！多次元表示チャートの活用事例を…

詳細化学反応解析プログラム「CHEMKIN」と連成した、 メタン燃焼条件の最適化の事例についてご紹介します。 問題設定として、当量比Φ、予熱温度Tin、滞留時間τを変化させ、 NO濃度、CO濃度、及...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索

最適条件の探索に！多次元表示チャートの活用事例をご紹介！

詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ