【開発事例】タイミング発生装置

紫外線露光装置2台を同時に、高速高精度に制御できる装置を開発した事例を…

協立電機株式会社 技術開発部の『タイミング発生装置』の開発事例を ご紹介いたします。 当社では、「半導体生産設備用の紫外線露光装置2台を同時に、 高速高精度に制御できる基板が欲しい」との依頼を受けました。 そこで、紫外線発生装置2台へ与えるシグナルパルス発生装置を開発しました。 【事例概要】 ■要求 　・半導体生産設備用の紫外線露光装置２台を同時に、高速高精度に 　制御...

メーカー・取り扱い企業： 協立電機株式会社

パッケージシステム

最適な生産管理システムを目指す「FAシステム」などをご紹介

協立電機株式会社は、製造業の生産現場、研究・開発・設計・品質管理分野等に 実践的なベストソリューションを提供しております。 半導体製造を管理し現場の見える化を促進する「半導体生産管理システム」をはじめ、 「デマンド監視システム」や「リアルタイムトレンドシステム」などを ご用意しています。 【ラインアップ】 ■半導体生産管理システム ■デマンド監視システム ■Easy Dat...

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