オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

主な特長 1.定評のある500Wマルチライト光源を搭載しています｡ 2.基板供給､アライメント､露光､基板排出を自動で行うとともに､ウエハ搬送はクラス最高水準である毎時190枚(2インチウエハ)の処理能力を実現しています｡ 3.マスクとウエハ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社