顕微EL/PLイメージング装置　PVX1000+POPLI-μ

太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微PL観測

PVX1000+POPLI-μは、太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微鏡でフォトルミネセンス観測ができます。PERCであれば、PL強度で個々のLocal-BSFの評価、レーザーコンタクトホール周辺のパッシベーション層のダメージが評価可能です。 また、直流電源を用いたモジュールのEL観測により欠陥箇所の位置特定が可能です。...製品特長 １．シリコンウェハ（6インチ角以下） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス