リフロー装置

ウエハーBUMPリフローや真空リフロー装置、卓上リフロー装置などをご紹…

の他特長（抜粋）】 ■φ6-8インチウエハーBUMPリフロー ・加熱方式：ホットプレートと上部遠赤外ヒーターの併用 ・ローダー、アンローダー一体型設計 ・炉内へのハンドリングは3軸クリーンロボットを装備 ■φ8-12インチウエハーBUMPリフロー ・加熱方式：ホットプレートと上部遠赤外ヒーターの併用 ・ホットプレート：ウェハーの反りに適応したビン立て加熱 ・3軸クリーンロボットを2...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社