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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する、全自動式露光装置です。 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり、自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで、毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました。 特に、新開発のアライメント画像処理には、任意座標指定のサーチおよ...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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NCIが進化させつづけた「つねに新鮮な」セラミック皮膜。
○クリアランス制御コーティング 【主要設備】 [溶射関連装置] ○プラズマ溶射装置 20台 ○ローカイド溶射装置 11台 ○メタル(パウダー・ワイヤー)溶射装置 10台 ○溶射ロボット 8台 ○真空含浸装置 2台 ○キャビネット型加圧式ブラスト装置 4台 ○キャビネット型吸引式ブラスト装置 13台 ○電気炉・熱風炉 9台 [加工・仕上関係] ○旋盤 7台 ○円筒研...
メーカー・取り扱い企業: 日本コーティング工業株式会社
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