オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡ オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクとの位置合わせ､露光までをオートで行うことから､オペレータや使用経験に依存しない､安定した精度での...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

両面マスクアライナー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

工業･電子部品用露光装置

ガラスマスクとワークをアライメントし､微細なマスクパターンを転写する露…

新開発の光学系､ミラー技術､効率高いの超高圧水銀ランプ･メタルハライドランプが 織りなす高精度な｢平行光｣と､優れたコストパフォーマンスにより､最先端技術の 発展を支えます｡ 【片面マスクアライナー】 ●半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に 　用いられます。 ●研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。 【両面マスクアライナー】 ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

自動搬送露光装置

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社