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  • 蛍光X線式測定器の自動化システム『XDV-μ SEMI』 製品画像

    蛍光X線式測定器の自動化システム『XDV-μ SEMI』

    お客様に合わせたカスタマイズが可能！クリーンルーム環境にも適用します！

    【仕様(抜粋)】 ■ウェハー供給部：BOLTS互換のロードポート搭載し、様々なSEMI規格のウェハーポッドに適用 ■ロボット：信頼性の高い4軸、サーボ駆動 ■エンドエフェクタ：標準吸引式エンドエフェクタ ■位置決め：回転軸およびリニア軸によるアライメントステーション ■X線検出器：シリコンドリ...

    メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィッシャー・インストルメンツ

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