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クリーンルーム内の壁面パネル、各種装置、ダクト等の接合部のシールとして…
て発⽣するアウトガスをシロキサンガスと呼びます。 発⽣したシロキサンガスは半導体ウェハーに付着して接着阻害を引き起こしたり、半導体接点部に酸化物を⽣成し接点不良を引き起こします。 詳しくは電子ブックご覧下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 太平化成株式会社
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