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独自スリットダイで自由に円形塗布!Spiral Coaterに代わる新…
ウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能(数100μmの厚塗りも1回で塗布可能) ■パターンへの埋め込み性に優れる(ボイドも少ない) ■EBR(Edge Back Rinse)不要で工程数を削減 ■圧倒的な省液性を実現(塗布液使用量はスピンコータの1/3以下) ■洗浄液の使用量及び...
メーカー・取り扱い企業: 中外炉工業株式会社
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