電動アクチュエータ　CMX （精密ステージ） [THK公式］

画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）

プテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社